FIB SEM测厚
绝对测量550μg/cm²靶厚,预估699nm 原子力显微镜AFM类设备 700nm厚度样品固定在衬底上,厚度当作表面起伏测量。 测量样品上表面与衬底的高度差。 台阶仪 > AFM > 压电台机械臂 无损,精度受衬底影响。 AFM探针的精度是~10 nm,但是难点在于不增加高度的条件下固定样品。 低成本。 FIB - SEM 集成 SEM对焦 旋转样品台与FIB源垂直 FIB切割截面 SEM观察,三角函数计算厚度 需要切割至少600*600nm的方形空间 切割与探测精度:10 nm 微纳尺度破坏,1-2 μm,包含离子注入污染范围。 报价2000/h,切割测量一片需要大约2min 只使用SEM 不开FIB聚焦离子束 只使用SEM升降样品台对焦。 样品尺寸最大不能超过0.8mm 探测精度同样为:10 nm 需要进行宏观层面的破坏 需要注意破坏方法,直接剪开可能由于剪切造成金属延展。 只能测量边缘位置的厚度。 报价2000/h 联系 中科院物理所,金爱子 82648198 azjin@iphy.ac.cn M楼超净间千级区
