绝对测量550μg/cm²靶厚，预估699nm
原子力显微镜AFM类设备
700nm厚度样品固定在衬底上，厚度当作表面起伏测量。
测量样品上表面与衬底的高度差。
台阶仪 > AFM > 压电台机械臂
无损，精度受衬底影响。
AFM探针的精度是~10 nm，但是难点在于不增加高度的条件下固定样品。
低成本。
FIB - SEM 集成
- SEM对焦
- 旋转样品台与FIB源垂直
- FIB切割截面
- SEM观察，三角函数计算厚度
需要切割至少600*600nm的方形空间
切割与探测精度：10 nm
微纳尺度破坏，1-2 μm，包含离子注入污染范围。
报价2000/h，切割测量一片需要大约2min
只使用SEM
不开FIB聚焦离子束
只使用SEM升降样品台对焦。
样品尺寸最大不能超过0.8mm
探测精度同样为：10 nm 需要进行宏观层面的破坏
需要注意破坏方法，直接剪开可能由于剪切造成金属延展。
只能测量边缘位置的厚度。
报价2000/h
联系
中科院物理所，金爱子
82648198
M楼超净间千级区
